Chia sẻ bài báo qua Email HỆ SỐ ION HÓA TOWNSEND THỨ NHẤT TRONG HỖN HỢP KHÍ SiH4-O2
Thông tin bài báo
Ngày đăng: 28/02/17Các tác giả
1. Phạm Xuân Hiển
, Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên2. Trần Thanh Sơn, Trường Đại học Điện lực
3. Đỗ Anh Tuấn, Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên
Tóm tắt
Giá trị hệ số ion hóa Townsend thứ nhất trong hỗn hợp khí SiH4-O2 được tính toán bằng việc sử dụng các phân tích phương trình bậc hai Boltzmann. Hệ số Townsend thứ nhất trong hỗn hợp khí SiH4-O2 với các tỉ lệ trộn khác nhau nhận được dựa trên các bộ tiết diện va chạm đáng tin cậy của các phân tử SiH4 và O2. Do đó, các kết quả này là các dữ liệu quan trọng cho việc mô tả các quá trình phóng điện và phóng điện plasma trong các ứng dụng công nghiệp có sử dụng hỗn hợp khí SiH4-O2.
Từ khóa
phóng điện khí; hỗn hợp SiH4-O2; hệ số ion hóa Townsend thứ nhất
Toàn văn:
PDFCác bài báo tham chiếu
- Hiện tại không có bài báo tham chiếu